Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Разработка технологии изготовления кристалла

Нанесение нижней обкладки конденсаторов

1. Нанесение позитивного фоторезиста ФП-РМ-7 на основе резольной и новолачной смол, методом центрифугирования.

. Сушка фоторезиста при температуре 100 С.

. Совмещение и экспонирование методом проецирования (Фотошаблон 5).

. Проявление в растворе тринатрийфосфата Nа3РO4.

. Задубливание фоторезиста при температуре 130 С в несколько этапов, с постепенным повышением температуры до 200 С.

. Напыление первого слоя металлизации Au методом плазмохимического осаждения.

. Удаление фоторезиста обработкой в горячей (70 - 80 ºС) смеси деметилформамида и моноэтаноламина.

Формирование лунок под затвор

1. Нанесение позитивного фоторезиста ФП-РМ-7 на основе резольной и новолачной смол, методом полива.

. Сушка фоторезиста при температуре 100С.

. Совмещение и экспонирование методом проецирования (Фотошаблон 5).

. Проявление в растворе тринатрийфосфата Nа3РO4.

. Задубливание фоторезиста при температуре 130 С в несколько этапов, с постепенным повышением температуры до 200 С.

. Травление потоком химически активных, но нейтральных частиц. К таким частицам относятся свободные радикалы и некоторые короткоживущие молекулярные комплексы, которые возникают в плазме соответствующих газов.

. Удаление фоторезиста обработкой в горячей (70 - 80 ºС) смеси деметилформамида и моноэтаноламина.

Омические контакты

Для формирования контактов используют метод обратной фотолитографии (Фотошаблон 3):

. Нанесение позитивного фоторезиста ФП-РМ-7 на основе резольной и новолачной смол, методом центрифугирования.

. Сушка фоторезиста при температуре 100С.

. Совмещение и экспонирование методом проецирования (Фотошаблон 3).

. Проявление в растворе тринатрийфосфата Nа3РO4.

. Задубливание фоторезиста при температуре 130 С в несколько этапов, с постепенным повышением температуры до 200 С.

. Наносят слой Au методом ионно-плазменного осаждения, этот слой и будет являться омическими контактами.

. Удаление фоторезиста обработкой в горячей (70 - 80 ºС) смеси деметилформамида и моноэтаноламина.

. Вплавление контактов.

Первая металлизация

1 Нанесение позитивного фоторезиста ФП-РМ-7 на основе резольной и новолачной смол, методом полива.

Сушка фоторезиста при температуре 100 С.

Совмещение и экспонирование методом проецирования (Фотошаблон 7).

Проявление в растворе тринатрийфосфата Nа3РO4.

Задубливание фоторезиста при температуре 130 С в несколько этапов, с постепенным повышением температуры до 200 С.

Напыления первого слоя металлизации методом плазмохимического осаждения.

Удаление фоторезиста обработкой в горячей (70 - 80 ºС) смеси деметилформамида и моноэтаноламина.

Вторая металлизация

1. Нанесение позитивного фоторезиста ФП-РМ-7 на основе резольной и новолачной смол, методом центрифугирования.

. Сушка фоторезиста при температуре 100 С.

. Совмещение и экспонирование методом проецирования (Фотошаблон 9).

. Проявление в растворе тринатрийфосфата Nа3РO4.

. Задубливание фоторезиста при температуре 130 С в несколько этапов, с постепенным повышением температуры до 200 С.

. Напыление второго слоя металлизации Au методом плазмохимического осаждения.

. Удаление фоторезиста обработкой в горячей (70 - 80 ºС) смеси деметилформамида и моноэтаноламина.

Нанесение диэлектрика

Al

2

O

3

Материал диэлектрика Al2O3. Нанесение методом плазмохимического осаждения при температуре 300 С в течение 100 секунд (Фотошаблон 9). Перейти на страницу: 1 2 

Другие статьи по теме

Цифровизация участка первичной сети связи Развитие науки и техники способствовало развитию телекоммуникационных сетей как всего мира, так и Украины. Передача мультимедийного трафика на первичной сети связи Украины осуществляется ...

Характеристики воздушной зоны Богучанского центра органов внутренних дел Гражданская авиация в России выполняет особую роль, являясь, с одной стороны, типичной подотраслью, реализующая транспортные услуги населению и иной клиентуре, а с другой стороны, осущес ...

Анализ систем видеонаблюдения Система видеонаблюдения - система аппаратно-программных средств, с целью видеонаблюдения. Сегодня системы видеонаблюдения являются одним из самых эффе ...