Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Загрязнения и борьба с ними

Принцип "бесконечного разбавления" соблюдается и при очистке пластин в парах растворителя. Пластины помещаются в рабочую камеру, куда поступают пары кипящего растворителя, которые конденсируются на очищаемых поверхностях. Капли конденсата, стекая с поверхностей пластин, уносят загрязнения. При этом пластины непрерывно омываются свежим чистым конденсатом, а загрязненный стекает вниз.

Такую очистку производят в парах изотропилового спирта, фреона-113 или хлорированных углеводородов. Наиболее эффективная очистка в фреоне-113 - негорючей и нетоксичной жидкости, имеющей температуру кипения 47,6 оС и плотность 1,57 г/см2. В парах растворителей плохо удаляются мыла, растворимые масла, а также соединения, содержащие воду. Недостаток этого метода очистки - значительные потери растворителя из-за испарения и необходимость высокой герметичности установок.

Химическое обезжиривание производится в составах, разрушающих молекулы жира и не действующих на обрабатываемый материал. Поэтому в растворе отсутствуют молекулы жира и исключаются процессы их десорбции очищенной поверхностью. Для химического обезжиривания используется горячий (75-80 оС) перекисно-амиачный раствор, состоящий из водного раствора, перекиси водорода H2O2 и гидроксида аммония NH4OH. Атомарный кислород, выдиляющийся при нагреве пергидроли, окисляет как органические, так и неорганические загрязнения, а щелочь ускоряет реакцию разложения H2O2, омывает или эмульгирует жиры, а также связывает в хорошо растворимые комплексы ионы некоторых металлов.

Химическое обезжиривание в сравнении с физическим обезжириванием в органических растворителях менее токсично и трудоемко.

Очистку поверхности от атомов и ионов металлов, а также остатков пленок оксидов, сульфидов, нитридов производят в кислотах. Удаление с помощью кислот ионов металлов основано на их вытеснении ионами водорода. При кислотной очистке следует тщательно соблюдать правила техники безопасности, так как попадание кислот на кожу и в глаза вызывает ожоги.

Для повышения эффективности очистки используют различные методы интенсификации. При этом ускоряются более медленные стадии процесса (например, подвод свежего реагента в зону обработки, отвод продуктов химической реакции от обрабатываемой поверхности), обеспечивается десорбция атомов или ионов и т.д.

Методы интенсификации подразделяют на физические, химические и комбинированные. К физическим методам интенсификации относят нагрев, кипячение, обработку струей, гидроциркуляцией, протоком, гидромеханическую очистку, центрифугирование, ультрозвуковую обработку, вибрацию промышленной частоты, плазменную очистку; к химическим - очистку поверхностно-активными веществами, комплексообразователями. Комбинированные методы интенсификации объединяют физические и химические методы (обработка горячей струей, подогрев ультразвуковой ванны и т.д.).

При обработке полупроводниковых пластин из физических методов чаще всего используют гидромеханическую и ультразвуковую очистки и почти все химические методы.

При гидромеханической очистке интенсификация процесса обеспечивается за счет контакта с рабочей поверхностью вращающейся пластины, закрепленной на вакуумном столике, мягких нейлоновых щеток, надетых на валик, ось вращения которого перпендикулярна оси пластины. Этот метод обычно используют при финишной отмывке деионизованной водой, которая подается на пластину под давлением 50 - 200 кПа. Основным недостатком гидромеханической очистки является возможность переноса загрязнений со щеток на рабочую поверхность пластины и появления на ней царапин в случае засорения щеток кремниевой пылью. Для избежания этого, следует соблюдать регламент смены и очистки щеток. Перейти на страницу: 1 2 3 4 5

Другие статьи по теме

Графен в электронике сегодня и завтра Графен был экспериментально обнаружен в 2004 г. двумя английскими учеными российского происхождения - Андреем Геймом и Константином Новосёловым, за что они вскоре получили Нобелевскую п ...

Блоки и агрегаты системы автоматического управления, регулирования, защиты, контроля и диагностики газотурбинной энергоустановки ГТА-6РМ Целью расчётов является определение ожидаемых показателей надёжности САУ ГТА-6РМ. В состав САУ ГТА-6РМ входят: БУД-6РМ (8Т1.001.013), состоящий из плат 5088, 5600, 5300, АСВК, ПНВ ...

Интеллектуальная система управления Умный дом Умный дом - это неотъемлемый атрибут любого современного жилища, в котором так много различных инженерных систем: освещение, силовая электрика, отопление, вентиляция, конди ...