Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Модель и характеристики резонаторного измерительного преобразователя с коаксиальной апертурой для микроволновой микроскопии

Одним из современных методов диагностики материалов микро- и наноэлектроники является метод микроволновой сканирующей микроскопии (МСМС), особенностями которого является бесконтактность, неразрушаемость образцов при проведения измерений Большей чувствительностью обладают резонансные методы В качестве РИП наиболее применимы четвертьволновые коаксиальные резонаторы, ввиду возможности концентрации электрического поля на заданном участке и внешнего расположения объекта исследований.

Для выявления малых отклонений в проводимости сканируемого образца высокотемпературных сверхпроводников (ВТСП), РИП должен иметь высокую собственную добротность Это достигается применением ВТСП в конструкции РИП. Пространственная разрешающая способность современных установок МСМС ВТСП составляет 1 мкм

Свойства полупроводниковых материалов существенно отличаются от свойств ВТСП Параметры полупроводниковых материалов (время жизни основных и неосновных носителей, их подвижность и пр.) изменяются в довольно узких пределах. Поэтому РИП, применяемые в МСМС полупроводниковых структур, должны обладать большей чувствительностью к изменению параметров образца, чем в случае МСМС ВТСП. Также требуется обеспечить проведение трёхмерного сканирования объекта для выявления дефектов и неоднородностей, расположенных в объёме, как правило, пленочной полупроводниковой структуры.

Можно сформулировать наиболее актуальные задачи дальнейшего совершенствования МСМС:

- одновременное увеличение чувствительности и пространственной разрешающей способности, что само по себе носит противоречивый характер;

- обеспечение многопараметрической и трехмерной диагностики в связи с объемным характером образца в наноэлектронике.

Вместе с тем, современные исследования уделяют недостаточно внимания изучению структуры поля в ближней зоне в количественном представлении, что сдерживает постановку и решение оптимизационных задач для МСМС.

Другие статьи по теме

Анализ на безопасность платы ТС2 ЦП ДЦ Минск цифровая схема моделирование интерфейсный Одним из эффективных инструментов проверки безопасности системы (элементов) является физическое и (или) логическое (имитационное) модел ...

Электропреобразовательные устройства РЭС Курс «Электропреобразовательные устройства РЭС» является одной из первых инженерных дисциплин специальности «Радиотехника», обеспечивающей подготовку радиоинженера в области силовых рад ...

Анализ видов измерителей электроэнергии На сегодняшний день на предприятиях производственной сферы используются промышленные электросчетчики, в том числе электронные, многотарифные и многофункциональные. Данные счетчики облада ...