Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Микроэлектроника

Меньше, дешевле, быстрее - таковы постоянные стремления производителей микроэлектронных приборов. В этой отрасли каждое новое поколение продуктов должно превосходить предыдущее, будучи меньше по размеру и без значительного увеличения затрат.

Данные правила также применимы к каждой компоненте, используемой при производстве, включая:

• транзисторы

• конденсаторы

• индукторы

• резисторы

• диоды

Так как размер этих приборов постоянно уменьшается, повышается необходимость во все более мощных методах измерения с целью анализа монтажных плат со все большей плотностью монтажа. При таких малых размерах влияние каждого дефекта становится все сильнее, в то время как новые факторы, появляющиеся в результате усложнения дизайна, такие как электростатические силы, начинают заметно влиять на результат.

Для мониторинга качества проектирования и производства в данной области часто используется комбинация систем микроскопии. Примерами являются:

• стереомикроскопия и световая микроскопия в целях нахождения общих дефектов и контроля качества соединений; • металлургическая микроскопия в проходящем и отраженном свете для контроля качества полупроводниковых пластин, и видеоизмерительные системы для подробного метрологического анализа и метрологического отчета; • система микроскопии для контроля качества пластин и фотошаблонов с целью идентификации дефектов в отраженном свете.

Использование дополнительных цифровых камер высокого разрешения и интуитивно понятного, но мощного программного обеспечения для анализа изображений может еще более повысить качество контроля, делая производителей готовыми к изготовлению чипов следующего поколения, отвечающим еще более строгим инженерным требованиям.

Основные методы и приборы: стереомикроскопия, наблюдение в проходящем и отраженном свете, инвертированные микроскопы, видеоизмерительные системы, цифровые камеры, программное обеспечение NIS Elements. (Рисунок 6)

Рисунок 6 SMZ 1500

Новейший и самый совершенный стереомикроскоп Nikon SMZ1500 создан специально для профессиональных исследователей естественных наук. Он обладает самым высоким в мире коэффициентом трансфокации от 0,75x до 11,25x, комплектуется новейшими и передовыми принадлежностями для решения самых сложных задач и может соперничать с модульными микроскопами высокого класса. Благодаря этим функциям оператор может исследовать и фотографировать образцы как в макро-режиме, так и микро-изображения с большим увеличением.

Другие статьи по теме

Активные RC-фильтры (ARC-Ф) Цель работы - изучение принципа работы, исследование амплитудных, частотных характеристик и параметров активных фильтров нижних и верхних частот, полосно-пропускающих и полосно-задержи ...

Блок управления для автоматизированной системы проверки межблочного монтажа При автоматизации производственных и технологических процессов в промышленности, научных исследованиях и создании новой техники требуется за ограниченное время одновременно измерять, ре ...

Измерение параметров радиолокационного сигнала Исходные соотношения. Критерий оптимальной оценки параметров сигнала: Пусть на вход приемника поступает аддитивная смесь сигнала и шума: ; где: - вектор случайных ...