Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Описание технологических операций

где F* - возбужденный атом фтора; - положительно заряженный радикал; e - электрон. Атом фтора взаимодействует с кремнием, образуя летучее соединение SiF4, которое легко удаляется из рабочей камеры.

При введение в газовую смесь кислорода резко увеличивается скорость плазмохимического травления благодаря образованию радикалов COF, которые диссоциируют

и повышают концентрацию возбужденных атомов фтора.

Для выполнения плазмохимической обработки пластин кремния используется плазмохимический реактор TEGAL 803. Перейти на страницу: 1 2 

Другие статьи по теме

Графен в электронике сегодня и завтра Графен был экспериментально обнаружен в 2004 г. двумя английскими учеными российского происхождения - Андреем Геймом и Константином Новосёловым, за что они вскоре получили Нобелевскую п ...

Методы стабилизации коэффициента усиления оптических усилителей В настоящее время оптоволоконные сети являются самым перспективным видом информационных сетей, что обусловлено множеством их преимуществ. В то время как одна из проблем коаксиальных кабе ...

Исследование динамических характеристик системы автоматического управления При проектировании автоматических систем приходиться решать такие задачи, как обеспечение устойчивости и точности процесса регулирования, имеющие противоречивый характ ...