Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Краткое описание конструкции акселерометра

Акселерометр - инерциальный датчик, применяемый для измерения линейных ускорений. Многие МЭМС акселерометры используют емкостную схему определения ускорения. Упрощенная схема емкостного акселерометра показана на рисунке 2.

Центральная часть акселерометра - подвешенная масса, которая выступает в качестве чувствительного элемента. Когда акселерометр подвергается воздействию сил инерции, чувствительный элемент вместе с подвешенными обкладками смещается относительно подложки тем самым, разбалансируя ёмкость C1 и C2, как показано на рисунке 2.

Рисунок 2. Схема емкостного акселерометра

Система обратной связи используется при регулировании в замкнутом режиме или при проведении самодиагностики.

Рабочие характеристики проектируемого акселерометра - чувствительность, которая определяется как соотношение выходного напряжения к входному ускорению, минимальное измеряемое ускорение, максимальное обнаруживаемое ускорение (диапазон), ширина полосы частот пропускания. При проектировании должны учитываться ограничения данного технологического процесса, такие как размеры устройства и минимальное разрешение. Разработка должна удовлетворять всем техническим условиям и ограничениям.

Рисунок 3. Топология емкостного акселерометра поперечных ускорений

Поперечный акселерометр может быть изготовлен по технологии от MCNC или же по технологии iMEMS от Analog Devices. В обеих технологиях, в качестве структурного материала используется поликристаллический кремний из-за его высоких механических свойств. Топология емкостного акселерометра поперечных ускорений показана на рисунке 3.

Другие статьи по теме

Исследование систем автоматического управления Целью выполнения курсовой работы по курсу ''Теория автоматического управления'' является - закрепление теоретических знаний и приобретение навыков самостоятельного решения расчетно-иссл ...

Интегрированные информационные технологии Использование принципа интеграции в компьютерных системах относится к различным аспектам организации технологий: интеграция информации в базах и банках данных; интеграция программ в еди ...

Усилитель мощности переменного сигнала Темой курсовой работы является разработка усилителя мощности переменного сигнала. Усилитель имеет дифференциальный вход, бестрансформаторный выход и плавную регулировку усиления от «0» д ...