Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Монолитные акселерометры

Совмещение функций различных датчиков в одном приборе, включающем схему формирования сигналов, микропроцессорное и запоминающее устройства, открыло путь к созданию универсальных кибернетических “рецепторов”. В разработке и производстве полностью монолитных акселерометров наибольших успехов добилась компания Analog Devices, которая в 1991 г. первой в мире освоила серийное производство полностью интегрированного монолитного одноосного акселерометра ADXL50, объединяющего в себе формирователь сигнала и схему автономного тестирования. Для формирования чувствительного элемента датчика была применена технология тонкослойного травления, получившая название интегральная микроэлектромеханическая система - iMEMS (Integrated Vicro-Electro-Mechanical Systems). Эта технология и позволила компании Analog Devices занять лидирующее положение на рынке акселерометров (рисунок 3).

Рисунок 3. Соотношение “стоимость - разрешение” для разных типов акселерометров

Другие статьи по теме

Территориальное планирование сетей телерадиовещания с учетом ЭМС РЭС на основе геоинформационных технологий На этапе проектирования телекоммуникационных сетей с появлением электронных карт и геоинформационных систем появилась возможность проведения более точных расчетов размещения радиоэлектр ...

Микропроцессорный тахометр Развитие микроэлектроники и широкое ее применение в промышленном производстве, в устройствах и системах управления самыми разнообразными объектами и процессами является в настоящее время ...

Активные RC-фильтры (ARC-Ф) Цель работы - изучение принципа работы, исследование амплитудных, частотных характеристик и параметров активных фильтров нижних и верхних частот, полосно-пропускающих и полосно-задержи ...