Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Микросистемная спецтехника

Следует подчеркнуть, что в России термин “микросистемная техника” стал использоваться в официальных документах после принятия в 1996 году перечня критических технологий Федерального уровня. Микросистемная техника включена в список приоритетных направлений развития науки и техники на 2001 - 2010 гг.

Основой развития МЭМС является микроэлектронная технология, которая применяется практически во всех изделиях на основе кремния. К сожалению, отечественная микроэлектронная промышленность не может сейчас похвастать большими достижениями. Однако большим положительным фактором является то, что в настоящее время для МСТ можно широко применять существующую российскую микроэлектронную технологию. Поэтому отечественными специалистами уже получены интересные результаты в этой области. В настоящее время увеличилось число российских научных коллективов, занимающихся наномеханикой - наноинструментами, нанотрубками и фотонными кристаллами.

Анализ современного рынка оборудования для МСТ показывает, что последний формируется за счет активного развития биотехнологии на фоне борьбы с терроризмом, ужесточения требований к работе с радиоактивными, токсичными и взрывоопасными веществами, что вызывает переход на использование сверхмалых количеств веществ в ограниченных объемах и создания “лабораторий на кристалле” и биочипов. Возможные направления использования технических средств МЭМС и МСТ для решения специальных задач приведены в таблице 2.

Таблица 2. Возможные направления использования МЭМС

в специальной технике

Микросистемная техника

Направление разработок

Направление использования в специальной технике

Микроэлектромеханические системы и машины

Микромеханизмы, микропривод, микродвигатели

Специальная робототехника

Оптико-механические микросистемы

Микрооптика, оптико-механические интегральные схемы

Спецсвязь, акустический контроль и др.

Биотехнические микросистемы

Миниатюрные автономные системы для диагностики организма и замещения органов

Специальные средства антитеррора

Микросистемы энергообеспечения

Автономные миниатюрные источники энергии, микротурбины, микросистемы рекуперации энергии

Специальные технические средства

Сенсорные микросистемы

Мультисенсоры, интеллектуальные сенсоры, сенсоры с обратной связью

Защита информации, объектов и личности

Микроаналитические системы

Миниатюрные аналитические приборы

Современные криминалистические средства

Технологические микросистемы

Микрореакторы, микроинструмент, микрорегуляторы, микронасосы

Специальный инструмент

Мини- и микро- робототехнические системы

Автономные многофункциональные диагностические и технологические мини-системы специальных условий эксплуатации

Специальная робототехника

Необходимо отметить, что активному развитию микросистемной техники в России способствуют три основных обстоятельства:

наличие базового оборудования, производственных мощностей и организационной инфраструктуры микроэлектронного производства, пригодных для реализации на них объектов микросистемной техники (при существующем уровне технологии в 1…10 мкм);

наличие научной и технологической культуры (в первую очередь, в области микро- и оптоэлектроники);

обширный рынок сенсорных систем различного направления (в том числе, в области обеспечения безопасности).

Перспективы дальнейшей интеграции микросистемной техники

Как уже указывалось выше, в становлении МЭМС наибольшее влияние оказал процесс интеграции современных средств, систем и технологий, поэтому для оценки перспектив развития МЭМС воспользуемся коэффициентом уровня интеграции К = Т х М, где Т - число транзисторов, а М - число механических компонент Состояние и перспективы интеграции микросистемной техники показаны на рисунке 2, где 1 - большинство существующих МЭМС; 2 - акселерометр ADXL-50; 3 - оптомеханические дисплеи DMD; 4 - перспективы интеграции МЭМС. Перейти на страницу: 1 2 3

Другие статьи по теме

Измерение параметров радиолокационного сигнала Исходные соотношения. Критерий оптимальной оценки параметров сигнала: Пусть на вход приемника поступает аддитивная смесь сигнала и шума: ; где: - вектор случайных ...

Усилитель звуковой частоты с однотактным трансформаторным выходным каскадом Для увеличения напряжения или силы тока, а так же мощности электромагнитных колебаний используются специальные устройства, называемые усилителями. В соответствии с выполняемыми фун ...

Исследование звуковой системы ПК с помощью диодной пластины С ростом популярности беспроводных технологий расширяется и сфера их применения. В дипломной работе рассмотрено решение, построенное на принципе передачи медиаданных по беспроводным кан ...