Автоматическая система контроля

Автоматизация технологических процессов

Особенности применения МСМС для исследования полупроводников

Как показал проведенный выше обзор, микроволновая сканирующая микроскопия в настоящее время, в основном, ориентирована на исследование ВТСП. В соответствии с этим назначением проведен ряд экспериментальных исследований для повышения пространственной разрешающей способности и чувствительности МСМС

Развитие наноэлектроники нуждается в бесконтактных методах исследования полупроводников и диэлектриков, субмикронных и наноразмерных структур. При этом существенно усложняются как сами задачи, возложенные на МСМС так и построение аппаратных измерительных систем и чувствительных элементов.

В первую очередь стоит обратить внимание на обеспечение многопараметрического исследования полупроводникового образца при широком диапазоне возможных значений величины исследуемого параметра. Кроме контроля поверхностных неоднородностей необходим контроль распределения удельного сопротивления (электропроводимости) образца, как по поверхности, так и по толщине в диапазоне значений 10-2 106 Ом×см, контроль пространственного распределения подвижности и времени жизни носителей заряда, фоточувствительности, диэлектрической проницаемости и

Кроме того, требование обеспечения высокой пространственной разрешающей способности микроскопии в полупроводниковых материалах существенно усложняется за счёт присутствия электромагнитного поля в самих материалах. Наличие существенных потерь СВЧ мощности зондирующего поля в полупроводниках осложняет обеспечение заданной чувствительности при необходимой пространственной разрешающей способности.

В целом, разработка МСМС полупроводников и диэлектриков намного более проблематична, чем для ВТСП, а результаты предыдущих исследований имеют достаточно ограниченную значимость в этой области. Немногочисленные работы из МСМС полупроводников носят иллюстративный характер Поэтому требуется провести комплекс исследований и разработок, которые позволили бы обосновать общие подходы оптимального выбора и проектирования РИП, применяемых в микроволновой микроскопии.

Другие статьи по теме

Генератор последовательности чисел Тема является весьма актуальной в настоящее время. Так как во многих областях науки и техники (электроника, электротехника, приборо- и машиностроение) необходимо использование генераторо ...

Активные RC-фильтры (ARC-Ф) Цель работы - изучение принципа работы, исследование амплитудных, частотных характеристик и параметров активных фильтров нижних и верхних частот, полосно-пропускающих и полосно-задержи ...

Анализ систем видеонаблюдения Система видеонаблюдения - система аппаратно-программных средств, с целью видеонаблюдения. Сегодня системы видеонаблюдения являются одним из самых эффе ...